金融界2024年11月14日音讯，国家知识产权局信息数据显现，西安晟光硅研半导体科技有限公司获得一项名为“一种气驱式超高压水泵”的专利，授权公告号 CN 221990662 U，请求日期为2024年4月。
专利摘要显现，本实用新型公开了一种气驱式超高压水泵，包含：进气设备、进水设备、气液增压泵、缓冲设备、压力调理设备、反应设备和输出设备；经过进气设备和进水设备供给安稳的压缩空气和安稳的超纯水作为气液增压泵的气源和水源；运用气液增压泵将超纯水的压力增压到高于预设压力值；使用缓冲设备对增压后的超纯水进行缓冲并存储，再经过压力调理设备对超纯水的压力进行调理至预设压力值，以使得超纯水在坚持较小输出流量的一起确保水压的安稳输出，使用反应设备将输出的超纯水的压力反应至压力调理设备以完成反应调理，使得输出的超纯水的压力满意技能需求的一起愈加安稳。
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